Qeb khoom
Tiv tauj peb

Haohai hlau Meterials Co., Ltd.

Haohai Titanium Co., Ltd.


Chaw nyob:

PlantNo.19, TusPark, CenturyAvenue,

XianyangCity, ShaanxiPro., 712000, Suav teb


TEL:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

INFO@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Qhov kev pab tus xov tooj neeg
029 3358 2330

Xov xwm

Tsev > Xov xwmNtsiab lus

Cov Hom Phem Hom Hlau Siv Tau Siv Hauv Hauv Thiab Cov Ntaub Ntawv Khw

Lub Hom Phiaj Hlau Sputtering yog siv los ua hluav taws xob thiab kev lag luam, xws li kev sib xyaw ua ke, cov ntaub ntawv cia, kua tshuaj siv ua kua, laser nco, hluav taws xob tswj, thiab lwm yam; tuaj yeem siv tau nyob rau hauv thaj tsam ntawm iav txheej; tuaj yeem siv tau rau cov khoom siv tawv ntoo-resistant,, Cov khoom siv ua kom zoo nkauj thiab lwm yam lag luam.

Raws li cov duab yuav muab faib ua lub hom phiaj ntev, Hlau Sputtering Lub Hom Phiaj Cov phiaj xwm phiaj xwm yeem, phiaj xwm, zoo sib xws

Raws li lub composition tau muab faib ua lub hom phiaj hlau, kev sib ntaus sib tua, lub phiaj siv paj nruag

Raws li daim ntawv thov sib txawv yog muab faib ua cov ntsiab lus ntawm cov ntsiab lus ntawm cov ntsiab lus ntawm semiconductor, cov ntaubntawv nruab nrab ntawm cov khoom siv ua paj yeeb, nthuav cov phiajcim, lub hom phiaj ntawm lub pob zeb thiab lub zog loj heev

Raws li daim ntawv thov, nws muab faib ua rau lub hom phiaj, qhov sib txuam hlau nplaws, qhov muag kho qhov muag, cov hlau nplaum hlau, cov yeeb yaj kiab nyias lub hom phiaj, cov yeeb yaj kiab, lub phiaj xwm deg, lub npog ntsej muag, , lwm lub hom phiaj

Magnetron pluttering txujci: hauv lub plhu (cathode) thiab lub anode ntawm qhov sib ntxiv ntawm ib qho orthogonal magnetic field thiab hluav taws xob, Lub Hom Phiaj Hlau Sputtering nyob hauv lub tshuab nqus tsev uas muaj cov pa roj (feem ntau Ar roj), daim nplaum magnet target Qhov nplais ntawm cov khoom tsim lub teb magnetic ntawm 250 ~ 350 Gaussian, nrog lub siab voltage hluav taws xob li ntawm orthogonal electromagnetic teb. Raws li kev ua haujlwm ntawm cov hluav taws xob, Ar roj yog raug ua kom zoo hauv ions thiab electrons, lub phiaj xwm ntxiv nrog rau tej yam tsis zoo siab, cov electrons uas tau tawm ntawm lub phiaj xwm raug cuam tshuam los ntawm cov hlau nplaum thiab qhov yuav ua rau cov roj ua haujlwm nce siab , txoj kev ua kom lub siab plasma hauv cheeb tsam ntawm lub cathode Body, Ar ions nyob rau hauv lub luag hauj lwm ntawm Lorentz yuam kom ceev cov davhlau mus rau lub hom phiaj, Hlau Sputtering Lub hom phom nyob rau hauv lub siab ceev kev sib tw ntawm lub phiaj nto, yog li hais tias lub sputtering ntawm lub hom phiaj atoms ua raws li lub caij ua ke hloov nrog lub zog siab ntawm lub hom phiaj ntawm lub hom phiaj Lub substrate yog tso thiab tso. Magnetron pluttering yog feem ntau muab faib ua ob hom: kev sib zog sib nqus thiab Sputtering, uas yog cov khoom siv sib txig sib txuas yooj yooj yim, nyob rau hauv lub tshuab tawg hlau, nws tus nqi tseem ceev heev. Kev siv cov tshuaj Sputtering RF muaj ntau dua, ntxiv rau cov khoom siv sib txuas lus, tabsis kuj tseem siv cov ntaub ntawv uas tsis yog siv hluav taws xob, thaum Lub Tsev Haujlwm feem ntau ua rau oxides, nitrides thiab carbides thiab lwm cov tshuaj. Yog hais tias tus RF zaus nce tom qab ua ib qho microwave plasma sputtering, Cov Hlau Phom Hom Phom feem ntau siv hluav taws xob cyclotron resonance (ECR) hom microwave plasma sputtering.