Qeb khoom
Tiv tauj peb

Haohai hlau Meterials Co., Ltd.

Haohai Titanium Co., Ltd.


Chaw nyob:

PlantNo.19, TusPark, CenturyAvenue,

XianyangCity, ShaanxiPro., 712000, Suav teb


TEL:

+86 29 3358 2330

+86 29 3358 2349


Fax:

+86 29 3315 9049


E-mail:

INFO@pvdtarget.com

Sales@pvdtarget.com



Qhov kev pab tus xov tooj neeg
029 3358 2330

Xov xwm

Tsev > Xov xwmNtsiab lus

Yuav ua li cas kov yeej Lub Tsawg Siv Rate Ntawm Magnetron Sputtering Target

Yuav ua li cas kov yeej cov uas tsis muaj kev siv tus nqi ntawm magnetron sputtering phiaj

Rotating lub hom phiaj yog dav siv nyob rau hauv hnub ci hlwb, architectural iav, automotive iav, semiconductors, pav ca-vaj huam sib luag TVs thiab lwm yam lag luam.

Cylindrical rotating lub hom phiaj muaj ib tug high magnetic teb lub dag lub zog, siab sputtering efficiency ntawm lub hom phiaj, siab deposition tus nqi ntawm cov zaj duab xis, sputtering lub hom phiaj thiab ib tug niaj hnub zaj duab xis txheej yuav muab tso rau ib tug loj cheeb tsam planar substrate nyob rau ob sab ntawm lub hom phiaj. Nyob rau tib lub sij hawm los ntawm kev sib hloov mechanism los txhim kho lub siv ntawm lub hom phiaj. Target txias yog txaus, lub hom phiaj nto mas siab hwj chim sputtering. Combining nws nrog intermediate zaus dual lub hom phiaj magnetron sputtering technology yuav ho txhim kho ntau lawm efficiency thaum uas txo nqi ntau lawm.

Magnetron sputtering muaj ntau yam zoo, tab sis kuj lub hav zoov ntawm cov uas tsis muaj deposition tus nqi thiab lub hom phiaj nto etching sis tsis ncaj, tsis muaj kev siv ntawm lub hom phiaj tsis xws luag. Xws li tiaj tus lub hom phiaj phiaj siv yog feem ntau tsuas hais txog 20% mus rau 30%, sputtering phiaj ua nyob rau hauv nws cov sputtering efficiency yog kuj tsis tshua muaj. Rau ib txhia zoo zoo nkauj tshooj xws li kub, silver, platinum, thiab ib co high-kev coj dawb huv hlau lub hom phaj, xws li qhov kev npaj ntawm ito zaj duab xis, electromagnetic zaj duab xis, superconducting zaj duab xis, dielectric zaj duab xis thiab lwm yam khaubncaws sab nraud povtseg ntawm precious hlau lub hom phaj, yuav ua li cas kov yeej lub magnetron sputtering Target siv yog tsawg tsawg, nyias zaj duab xis deposition yog tsis niaj hnub thiab lwm yam shortcomings yog qho tseem ceeb heev.

Lub planar magnetron sputtering phiaj phiaj etching heterogeneity yog tsuas yog thaws rov los nyob rau hauv ob yam, nyob rau hauv ib txhais tes muaj qhov dav ntawm lub hom phiaj dav ntawm lub sis tsis ncaj etching, rau lwm cov tes, sputtering phiaj cov tsoos tsim ntawm lub lub dav hlau sputtering phiaj sputtering groove Lub khiav yog kaw thiab lub anomalous kos phenomenon yog nws tshwm sim nyob rau kab pheeb ces kaum txoj hauj lwm ntawm lub phiaj kawg, thiab lub etching nyob rau ob leeg ntawm lub hom phiaj kawg thiab ncaj yog txawv txav thiab lub etching nyob rau hauv nruab nrab thaj tsam yog ntiav thiab cov etching loj qhov chaw yeej ib txwm kab pheeb ces kaum, ces tus phenomenon no kuj hu ua lub kawg nyhuv los yog kab pheeb ces kaum nyhuv. Qhov kawg-kos nyhuv ntawm lub hom phiaj zoo heev thiaj li muaj cov uniformity ntawm lub kos channel tob, thiab cov cylindrical rotating lub hom phiaj yuav kom daws tau cov teeb meem no zoo heev thiab yog li muaj ib tug ntau dua kev siv tus nqi.