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Planar Magnetrons hauv PVD Coatings


Planar Magnetrons hauv PVD Coatings


Lub Planar Magnetron yog, hauv essence, ib qho classic "diode" hom sputtering cathode nrog kev sib ntxiv ntawm ib qho chaw ruaj khov array qab lub cathode. No cov ntawv magnet tau npaj kom muaj qhov sib txawv ntawm qhov sib txawv ntawm qhov hluav taws xob hauv txoj kab hluav taws hauv txoj kab thiab kaw cov ciam teb "qhov" uas ua rau cov hluav taws xob nyob ze ntawm lub phiaj xwm. Qhov tshuab hluav taws xob hauv hluav taws xob no ua rau kev ua kom muaj cov roj ion tsim tawm thiab ua rau cov ntshav tawm, uas cia siab dua ntawm cov roj tsawg dua thiab ua tau kom muaj feem ntau ntawm cov phom sij ntawm PVD (Physical Vapor Deposition) coatings.


Muaj ntau yam Magnetron Sputtering cathode / target shapes tau siv, tab sis feem ntau yog cov voj voog thiab voos. Rectangular Magnetrons feem ntau pom muaj nyob hauv cov nplai loj Hauv kab Magnetron Sputtering Systems qhov twg substrates scan linearly dhau los ntawm lub hom phaj ntawm ib co qauv ntawm cov khoom siv thauj khoom los yog cov cab kuj. Vas Magnetrons feem ntau pom muaj nyob rau hauv me me nplig Confocal Batch Systems los yog ib leeg noj rau hauv cov cuab yeej cuab tam.


Txawm hais tias ntau cov qauv ua tau, feem ntau cov cathodes - nrog rau txhua tus kheej thiab cov duab plaub - muaj ib qho yooj yim concentric hlau nplaum qauv nrog lub chaw ua ib tug ncej thiab qhov ntxeev qhov rov qab. Rau txoj kab Magnetron, qhov no yuav yog ib qho chaw me me nyob hauv nruab nrab, thiab ib lub nplhaib ntawm cov lus sib dhos ntawm sab nrauv nrog qhov sib txawv ntawm nruab nrab.


Rau cov duab Magnetron qhov nruab nrab mas feem ntau yog ib qhov chaw nyob ntawm qhov ntev ntawm txoj kab (tab sis tsawg tshaj qhov ntev) nrog lub laj kab "qhov laj kab" ntawm txoj kab npauj npaim txhua txoj kev ncig nws nrog qhov sib txawv ntawm nruab nrab. Qhov sib txawv yog qhov uas lub plasma yuav yog, ib lub voj ncig ntawm lub voj voog Magnetron los yog ib qho "khiav tawm" hauv cov duab plaub. Nco ntsoov tias, tshwj xeeb tshaj yog nyob rau hauv cov loj cathodes, cov hlau nplaum yuav ua tau ntau theem ntawm ib qho zuj zus es tsis yog ib qho khoom tsim.


Raws li lub hom phiaj cathode txheej khoom siv nyob rau hauv PVD thiab cov khoom sputters tawm, koj yuav tau pom cov yam ntxwv ntawm kev yaig ntawm lub hom phiaj lub ntsej muag. Qhov tseeb, thaum muaj teebmeem hauv kev lag luam xws li kev ploj lawm, tsis muaj kev sib raug zoo, lossis rov qaum, txoj kev yaig yuav tsis zoo thiab qhov no yog qhov zoo tshaj plaws ntawm cov teeb meem hauv koj lub Magnetron Sputtering cathode.


Tus qauv taw qhia ntawm cov hlau nplaum yuav tsum yog xws li ib lub tsho yog tsim nyob rau ntawm qhov chaw, thiab cov ncej ntawm lub npov ntawm qhov chaw. Muaj ob peb txoj hauv kev los ua qhov no. Cov feem ntau yog rau nruab ntu cov hlau nplaum 'sab qaum teb sab qab teb sab qaum mus rau lub dav hlau ntawm lub hom phiaj, ib lub tsho mus rau lub hom phiaj thiab lwm qhov kawg - "dawb" kawg / sib npaug ntawm cov ncej - magnetically bridged rau lwm cov hlau nplaum los ntawm ib lub rooj ncej ua ntawm sib nqus (feem ntau ferrous) cov khoom.


Qhov sib npaug ntawm sib sib zog nqus hluav taws xob yog li no yog qhib qaum teb ntawm ib qho hlau nplaum (los yog cov saw hlau ntawm ib tus neeg hlau nplua nuj) thiab nrog nws cov lus sib txuas ntawm sab qab teb ua ke los ntawm cov khoom sib txuas rau sab qaum teb ntawm lwm qhov, uas sab qab teb sab hnub tuaj. Cov ob qhov sib txawv ntawm qhov sib txawv ntawm lub ntsej muag qhib lub ntsej muag mus rau lub hom phiaj thiab qhov sib ntxiv ntawm qhov sib txeeb ntawm qhov sib txawv saum toj ntawm lub phiaj tsim hluav taws xob hauv tshuab hluav taws xob, plasma mloog zoo.


Nco ntsoov tias cov PVD Magnetron ua haujlwm nrog sib txuam sib nqus - qhov chaw yuav ua tau sab qaum teb thiab lub nrooj ua tau nyob rau sab qab teb, lossis lwm sab. Txawm li cas los xij, feem ntau Planar Magnetron Sputtering systems, muaj ntau cov cathodes nyob sib haum ze sib luag, thiab koj tsis xav kom tawm tsam sab qaum teb sab qab teb / sab qab teb uas ua nyob nruab nrab ntawm cov hom phiaj.


Cov N / S Magnetron magnetic liaj teb yuav tsum tsuas yog nyob rau ntawm lub hom phaj 'ntsej muag, ua tus xaib magnetic tunnels muaj. Vim li no, nws yog txaus ntshiab kom paub meej tias txhua tus cathodes nyob hauv ib lub cev yog mus ua ke tib txoj kev, xws li tag nrho qaum teb ntawm lawv qhov chaw, lossis tag nrho sab qab teb ntawm lawv qhov chaw. Thiab rau cov chaw nrog ntau lub tshuab tshuab raj, nws zoo ib yam li qhov yuav ua rau lawv txhua tus tib yam li ntawd cov cathodes tau yam ua tau kom sib pauv ntawm lub tshuab tsis muaj kev txhawj xeeb txog kev sib haum xeeb.


Muaj ntau qhov kev xav thiab kev xaiv txog cov hlau nplaum. Feem ntau lub hom phiaj yog tsis muaj kev sib nqus thiab yog li tsis cuam tshuam nrog lub dag zog ntawm magnetic field. Tab sis yog tias koj yog sputtering magnetic cov ntaub ntawv xws li hlau los yog npib tsib xees, koj yuav xav tau lub zog loj zog, los yog lub phiaj xwm thinner, los yog ob qho tib si kom tsis txhob muaj lub nplhaib magnetic field tau luv luv los ntawm cov khoom siv hlau nplaum.


Tshaj ntawd, cov ntsiab lus hlau nplaum, xws li sib nqus zog thiab qhov sib txawv qhov ntev, yuav tsim los txhawm rau txhim kho cov khoom siv phiaj xwm, los yog los txhim kho uniformity raws tus thawj xibfwb ntawm lub hom phiaj. Nws yog txawm tau siv electromagnets siv tsis tau cov hlau nplaum, uas tau them qee cov kev tswj ntawm cov cuab yeej ntawm cov cuab yeej hlau, tab sis, tsis yog, nce nyuaj thiab nqi.


Sputter cathodes yog feem ntau cov dej txias, feem ntau yog siv cov tooj phom npab uas yog ncaj qha dej txias, nrog rau cov phiaj los xij ua ke los yog clamped rau nws. Thiab feem ntau cov hlau nplaum nyob hauv lub tsho dej, nyob rau hauv kev sib cuag nrog cov dej, uas tej zaum kuj tiv tau lub phaj ncej hauv cathodes.


Nyob rau hauv xws li no, nws yog li ntawd tsim nyog yuav tsum tau coj cov kauj ruam tsim nyog kom tsis txhob corrosion ntawm lub hlau nplaum los yog lub plhaub ncej. Cov phom plates tuaj yeem tsim tau los ntawm cov hlau nplaum hlau ntawm cov hlau tsis muaj xim, piv txwv, kom tsis txhob txhuam, thiab cov hlau nplaum uas, nyob ntawm lawv qhov kev rho tawm, yuav tsum raug cuam tshuam los ntawm cov dej tau tuaj yeem encapsulated yas los yog epoxy.


Planar Magnetrons, thiab lawv cov kwv tij txheeb ze ntawm cov phiaj clamp-rau cov phiaj xwm Magnetrons, tso cai rau cov neeg siv ua kom qis qis dua feem ntau dua li cov kab zauv yooj yim. Lawv kuj muaj peev xwm txuas ntxiv ntshav ntawm cov roj tsawg, uas tuaj yeem qhib tau qhov kev ntsuas no ntxiv rau cov txheej txheem kev hloov kom ncav cuag cov yeeb yaj duab zog uas yuav xav tau.


Ntau yam ntawm cov cathodes thiab cov hom phiaj yog muaj muag, nrog rau ntau txoj kev xaiv rau cov hlau nplaum zog thiab qhov tsim kom muaj zog rau cov txheej txheem thaum tsim nyog. Lawv tau los ua tus Mainstay ntawm Magnetron PVD Sputter ua tiav.


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Haohai Hlau (Haohai Titanium) muab ntau hom txheej txheem rau ntau yam kev teeb tsa, xws li tig lub hom phom sij, lub plab zom zaws, cov khoom siv evaporation, thiab cov khoom ntim hauv cov ntaub ntawv ntawm cov khoom xyaw , zirconium , chromium , hafnium , niobium , tantalum , molybdenum , silicon , titanium-txhuas , nickel- chromium , silicon-txhuas thiab chromium-txhuas lwm yam zoo li