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ADVANCES HAUV TXHEEJ TXHEEM

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ADVANCES HAUV TXHEEJ TXHEEM


Magnetron sputtering yog ib txoj kev xaim txheej txheem rau kev xa khoom nyias nyias ntawm iav. Txij li thaum lawv cov khoom tsim nyob rau thaum xyoo 1960, cov tshuab electrodes sputtering tau qis dua ib qho kev nce qib kev loj hlob. Qhov tseem ceeb tshaj plaws ntawm kev ua haujlwm yog hloov cylindrical magnetrons thiab cov ciaj cum loj nrawm nrawm. Cov kev ua haujlwm ob qho tib si no tau muab cov tuam txhab tsim tsa kev xa los ntawm kev lag luam thiab txo nqi, thaum tuav txheej zoo thiab thickness sib xws.


Peb paub hais tias qhov kev hloov qeeb hlau magnetron feem ntau yog qhov pheej yig thiab cov txheej txheem uas tau muaj nyob rau hnub no vim yog qhov ua tau zoo tshaj plaws hauv R & D hauv kev siv tshuab, txheej txheem, thiab kev tsim ua vaj tse. Muaj ntau qhov kev tsis txaus siab ntawm cov qauv kev tshawb fawb ntawm qhov kev tshawb fawb tau tawm los ntawm qhov kev saws thiab siv cov tshuab cylindrical rotating. Muaj peb qhov zoo tseem ceeb uas yuav tau hloov cov cylindrical magnetron sputtering txoj kev, lawv muaj xws li: cov khoom siv sab nrauv, siv ntau dua ntawm kev siv, thiab tseem muaj peb npaug zog, uas ua rau ntau tus nqi ntau dua los yog nyob rau hauv ntau txoj kab.


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Rotatable lub raj phom sij

Raws li kev ua lag luam paj hauv lub tshuab nqus tsev ntawm magnetron sputtering hlob zoo, lub hom phiaj tsim yog li ntog. Thermal spray yog lub tshuab najnpawb tsim kev tsim khoom siv lub zog rau kev ua si, vim nws muaj ntau yam ntawm kev ua haujlwm kom ua tau raws li cov kev xav ua. Peb tsis ncaj nraim rau tag nrho cov nqi ntawm cov tswv cuab:

Khoom siv: Doped cov ntaub ntawv tuaj yeem tsim tau rau hauv cov kabmob stoichiometric thiab nonstoichiometric tsis muaj kev txwv ntawm cov qauv duab, uas cov neeg tsav tsheb tsim cov coatings uas tsis tuaj yeem ua los ntawm cov cuab yeej classic casting technologies. Thermal spraying tsis tas yuav ua kom txwv tsis pub muaj kev txwv rau cov thooj txeem nrog cov thermal spraying: Txhua yam khoom siv sib tov ua ke yuav tsum ua tiav los ntawm kev siv cov qaum tsim nyog ua ke ua ntej txau.

Cov Kev Pab Thoob Plaws Tshaj: Txhua yam ntaub ntawv tuaj yeem raug txau tawm, ntawm qhov chaw txo cov txheej txheem cov hlau nplaum rau cov qib siab zom zaws.

Teeb yeem yooj yim: Lub neej ntev (tus aub-pob txha zoo nkauj) lub hom phiaj nce lub qhov thickness ntawm cov khoom ntawm ob hnub. Yog li ntawd, cov khoom siv zoo siab siv tau yog ua tau nrog ntau cov ntaub ntawv thiab rau ntau lub phiaj ntev (txog 152 ntiv tes), thiab tau yooj yim ua.

Film zaj duab xis: Cov thev naus laus zas thiab cov xim txheej, xws li SnO2, TiO2, SiO2, thiab Si3N4, tuaj yeem ua tau ntawm cov phiaj cylindrical advanced.

 

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Ntawm no yog qee qhov tshwj xeeb cylindrical hom phiaj uas yog dav siv hauv nyias zaj duab xis txheej txheem:

 

Silicon aluminium lub hom phaj

Nyias cov yeeb yaj kiab ntawm SiO2 thiab Si3N4 yog hnav tawm ntawm Si (Al) lub hom phaj. Kev ua tiav ntawm Si (Al) lub hom phiaj los ntawm thermal spray yuav siv sij hawm zoo dua cov txheej txheem tshuaj tsuag. Nws qhov kev hloov mus rau qhov chaw geometry tso cai rau ntau hom phiaj, qhov ntev, thiab ncaj lossis tus txheeb pob txha phiaj rau qhov xaus, hos lub hom phiaj ntawm lub cev muaj peev xwm los ntawm qhov ua kom lub pob zeb tuab li 9 hli. Aluminium dopant theem tau ntawm 0% ntawm% rau 19%, nrog nruj ntawm lwm yam tshuaj tshaj qhov tshuaj lom neeg zaum kawg. Los ntawm kev hloov ntawm tus qauv 6 hli tuab lub hom phiaj rau lub tshiab 9 hli lub hom phiaj (muaj 50% ntau cov ntaub ntawv), txheej nqi yuav raug txo kom tsawg li 3%, thiab cov sij hawm tuaj yeem tsa tau los ntawm 5% vim tias muaj tsawg dua cov phiaj tsiv.

 

High-density tin

Txuj ntawm lub thermal-sprayed tin lub hom phiaj muaj 90% ntawm qhov yuav tsum tau qhov kev ua theoretical, nrog rau kev kwv yees oxygen ntsiab lus ntawm 2000 ppm. Txawm li cas los xij, kev kho cov thermal-spray technology tau ua rau muaj kev sib txig sib luag, muaj ntau tshaj 98% ntawm qhov yuav tsum tau ua qhov ntsuas, nrog cov pa oxygen hauv qab 250 ppm. Qhov no ua ke muab cov txiaj ntsim ntawm cov tshuab thermal tshuab txuam nrog cov qauv kev sib koom tes. Txhais raws li cov nqi ntawm tus nqi, qhov hlawv tus cwj pwm, cov nqi dej nqi, thiab cov yeeb yam tam sim no, thiab tus cwj pwm txawv ntawm qhov kev sib tw high-density qhia tau zoo tshaj. Tsis tas li ntawd, cov thermal spraying tau tso cai rau kev ncaj ncees ntawm qhov morphology, grain orientation, thiab khoom ntom. Cov kev hloov kho yooj yim no ua kom zoo tshaj plaws rau kev ua kom muaj lub tshuab raj lossis txheej txheem, ua rau muaj kev txuag nyiaj ntau.

 

Titanium oxide

Ib qho kev qhia zoo tshaj plaws txog kev siv tshuaj ua kom lub thermal ua tau zoo li cas yog qhov tsim ntawm TiOx lub hom phaj. Ua ntej, qhov txheej txheem kev kub muaj peevxwm cia lub ceramic titanium oxide rau yaj. Ib txhij, titanium oxide undergoes ib nrab txo nrog cov txheej txheem gases, transforming nws mus rau hauv ib qho hluav taws xob conductive theem. Thaum siab txias, nws tseem nyob twj ywm hluav taws xob hauv chav tsev. Cov khoom siv no ua rau kev ruaj ntseg zoo dua thaum lub sij hawm reactive, tsis tas yuav tsum muaj qhov voj vev xaib txheej txheem, tab sis nws tseem pab kom muaj kev yoo mov qis dua.

 

Indium tin oxide

Indium tin oxide yog ib qho ntawm cov khoom ua si sab nrauv uas muaj hluav taws xob ua tau rau cov zaub ua lag luam. Cov ntawv sau muaj xws li cov lus qhia vaj huam sib luag, xws li LCD, PDP, thiab OLED, uas nyob rau hauv indium tin oxide txheej ua hauj lwm raws li ib pob tshab

electrode. Planar ceramic lub hom phiaj muaj ib los sis ntau tshaj cov vuas uas tau muab los ua ib qho xim hlau phaj. Niaj hnub no, DC renetron plutter deposition ntawm lub phiajcim ceramic yog cov txheej txheem ntau tshaj plaws rau kev tso dej ntawm indium-tinoxide (ITO) coatings ntawm iav thiab yas substrates. Nyob rau hauv kev phem ntawm lawv qhov chaw, kev npaj lub hom phiaj muaj ob peb yam kev txwv vim lawv txoj kev tsim qauv.


Tig rov cylindrical ITO lub hom phiaj daws teeb meem ntau ntawm cov kev txwv ntawm planar ceramic ITO lub hom phaj. Qee qhov nws qhov zoo tshaj plaws muaj xws li:

Tshaj ntawv muaj txiaj ntsim zoo tshaj plaws thiab siv cov khoom siv phiaj xwm ntau ntxiv, ob qho no ua rau txo lub tshuab poob qis.

Ua kom muaj kev ruaj ntseg zoo dua rau cov dej ntws rov qab.

Txhim kho cov cua txias, uas nce lub hwj chim ceev thiab nce qhov nqi pov tseg.

Kev Xeem Ua Ntej Ua Ntej yog qhia tias tag nrho cov nqi ntawm cov tswv cuab yuav raug txo los ntawm ntau tshaj 40% ntawm ib lub meter ntawm lub ntsuas thaum uas ob npaug ntawm kev siv cov hom phiaj.